電動 XY 軸積分組み合わせステージ、50 Mm トラベル

- Jan 22, 2018-

構造

旅行の範囲

50 mm

プラットフォーム

150 mm × 150 mm

軸受構造

高精度研削スクリュー (リードの 1 mm)

旅行ガイド

クロス ローラー ベアリング

ステッピング モーター (1.8 °)

28STH51H 0674B

材料

ブラック アルマイト処理アルミ合金

負荷容量

10 キロ

重量

3.2Kgs

精度

デザイン解像度

5 μ m/パルス、MS ドライバー

0.25μm/パルス、20 ms ドライバー

最大速度

6 mm/秒

再現性

1.5 μ m 帯

絶対精度

5 μ m

真直度

5 μ m

並列化

15μm

ピッチング

30 d

ヨーイング

25"

バック ラッシュ

2 μ m

ロスト モーション

2 μ m

その他

スケール (-G)、サーボ モーター (-D)