構造 | 旅行の範囲 | 50 mm |
プラットフォーム | 150 mm × 150 mm | |
軸受構造 | 高精度研削スクリュー (リードの 1 mm) | |
旅行ガイド | クロス ローラー ベアリング | |
ステッピング モーター (1.8 °) | 28STH51H 0674B | |
材料 | ブラック アルマイト処理アルミ合金 | |
負荷容量 | 10 キロ | |
重量 | 3.2Kgs | |
精度 | デザイン解像度 | 5 μ m/パルス、MS ドライバー 0.25μm/パルス、20 ms ドライバー |
最大速度 | 6 mm/秒 | |
再現性 | 1.5 μ m 帯 | |
絶対精度 | 5 μ m | |
真直度 | 5 μ m | |
並列化 | 15μm | |
ピッチング | 30 d | |
ヨーイング | 25" | |
バック ラッシュ | 2 μ m | |
ロスト モーション | 2 μ m | |
その他 | スケール (-G)、サーボ モーター (-D) |