高精度XY電動顕微鏡ステージ

高精度XY電動顕微鏡ステージ

旅行範囲:170mm; プラットフォーム:300mm×300mm; ベアリング構造:高精度研削ねじ(先導1mm)
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制品の詳細

PT-XY170-1.jpg

商品番号

PT-XY170

構造

旅行の範囲

170mm

プラットフォーム

300mm×300mm

ベアリングの構造

高精度研削用ねじ(先導1mm)

旅行ガイド

クロスローラーベアリング

ステッパーモーター(1.8°)

57BYG

材料

アルミ合金 - ブラックアルマイト

負荷容量

60Kgs

重量

10.3キログラム

正確さ

デザインの解像度

20μm/パルス、非MSドライバ

1μm/パルス、20MSドライバ

最大速度

25mm /秒

繰り返し性

2μm

絶対精度

3μm

真直

5μm

並列化

15μm

ピッチング

50 "

ヨーイング

25 "

バックラッシュ

2μm

ロストモーション

2μm

その他

スケール(-G)、サーボモータ(-D)

 


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引き合い

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