Olympus LMPLN-IRおよびLCPLN-IRは、ウェーハ内部の近赤外（波長：700-1300 nm）を観察するための特別な対物レンズです。 LCPLN-IRシリーズの対物レンズは、補正リングを使用して異なるシリコン厚を補正します。LMLYN-IRはOLYMPUS赤外線観察用です
ウェーハ内部観察などの近赤外観察に適した特殊レンズ
LCPLN-IRを使用して、キャリブレーションリングによりシリカまたはガラスの厚さを補正できます。
仕様：
目的 | 倍率 | NA（ オープニングナンバー ） | WD （焦点距離）（ mm ） | FN（ フィールド ） | ガラス厚補正 （ mm ） | シリコン厚さ補正 （ mm ） |
LMPLN-IR | 5X | 0.1 | 23 | 22 | - | - |
10 X | 0.3 | 18 | 22 | - | - | |
LCPLNIR | 20 X | 0.45 | 8.3 | 22 | 0-1.2 | 0-1.2 |
5 0 X | 0.65 | 4.5 | 22 | 0-1.2 | 0-1.2 | |
100 X | 0.85 | 1.2 | 22 | 0-0.7 | 0-1.0 |
