OLYMPUS赤外線観測用LMPLN-IR

OLYMPUS赤外線観測用LMPLN-IR

Olympus LMPLN-IRおよびLCPLN-IRは、ウェーハ内部の近赤外(波長:700-1300 nm)を観察するための特別な対物レンズです。 LCPLN-IRシリーズの対物レンズは、補正リングを使用して異なるシリコン厚を補正します。LMLYN-IRは、OLYMPUS赤外線観察専用レンズに適しています...
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制品の詳細

Olympus LMPLN-IRおよびLCPLN-IRは、ウェーハ内部の近赤外(波長:700-1300 nm)を観察するための特別な対物レンズです。 LCPLN-IRシリーズの対物レンズは、補正リングを使用して異なるシリコン厚を補正します。LMLYN-IRはOLYMPUS赤外線観察用です

ウェーハ内部観察などの近赤外観察に適した特殊レンズ

LCPLN-IRを使用して、キャリブレーションリングによりシリカまたはガラスの厚さを補正できます。

仕様:


目的

倍率

NA( オープニングナンバー

WD (焦点距離)( mm

FN( フィールド

ガラス厚補正 mm

シリコン厚さ補正 mm

LMPLN-IR

5X

0.1

23

22

-

-

10 X

0.3

18

22

-

-

LCPLNIR

20 X

0.45

8.3

22

0-1.2

0-1.2

5 0 X

0.65

4.5

22

0-1.2

0-1.2

100 X

0.85

1.2

22

0-0.7

0-1.0

LMPLN5XIRlmpln5xir_sdLMPLN10XIRlmpln10xir_sdLMPLN20IRlmpln20xir_sdLMPLN50IRlmpln50xir_sdLMPLN100IRlmpln100xir_sd


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